精密温度测量与传感方案

“感知毫厘之差,奠定控温之基”在半导体沉积、蚀刻,或工业窑炉的精准热处理中,毫秒级的温度波动都可能影响良率。我们提供全系列、 高精度的热电偶与热电阻解决方案,确保在极端高温、腐蚀或振动的环境下,依然能为您捕捉最真实的温度信号,为工艺稳定与品质控制提供可靠的数据基石。

热点偶

热电偶是热电温度计的敏感元件,热电偶测温的基本原理是两种不同成份的材质导体组成闭合回路,当两端存在温度梯度时,回路中就会有电流通过,此时两端之间就存在电动势——热电动势。两种不同成份的均质导体为热电极,温度较高的一端为工作端,温度较低的一端为自由端,自由端通常处于某个恒定的温度下。根据热电动势与温度的函数关系,制成热电偶分度表;分度表是自由端温度在 0℃时的条件下得到的,不同的热电偶具有不同的分度表。

热电阻

热电阻,不同材料制作的RTD有不同的特性及优缺点,一般常用铂(platinum),铜(cuprum/copper),镍(nickel)。分类如下:铂热电阻(Pt RTD)俗称铂电阻,应用最广泛,性能最优。铜热电阻(Cu RTD)俗称铜电阻,缺点多,几乎淘汰。镍热电阻(Ni RTD)俗称镍电阻,优点比铂电阻不明显,几乎无人使用。大多情况使用铂电阻。

“感知毫厘之差,奠定控温之基”在半导体沉积、蚀刻,或工业窑炉的精准热处理中,毫秒级的温度波动都可能影响良率。我们提供全系列、 高精度的热电偶与热电阻解决方案,确保在极端高温、腐蚀或振动的环境下,依然能为您捕捉最真实的温度信号,为工艺稳定与品质控制提供可靠的数据基石。

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