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“芯”之所向,热之所往半导体制造是对环境要求最严苛的领域。从反应腔的精准测温,到晶圆传输机械臂的防结露加热,再到特种气体管路的稳定伴热,每一个热管理细节都关乎良率。我们深度理解半导体工艺,提供从高纯度...
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